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高溫氣體、液體質量流量控制器MFC及流量計: -- 可快速精確測量過程氣體/液體/蒸汽的體積流量/質量流量; -- 采用定制的高速比例控制閥對介質體積流量/質量流量進行精確控制 -- 測量液體時,帶有排氣孔可輕松排出空氣 -- 集成多功能數字顯示屏,通過屏幕按鈕便可控制設定值及PID閥門調節,開放模擬輸入輸出和RS-485數字通訊 -- 內部無可移動組件和熱元件,通過抗振動測試,對安裝方向不敏感。
ACU10HT系列 高溫蒸汽質量流量控制器/流量計: -- 可快速精確測量高溫介質(液體、氣體或蒸汽)的體積流量/質量流量; -- 采用定制的高速比例控制閥對液體體積流量/質量流量進行精確控制。 -- 帶有集成式多功能數字顯示屏,允許用戶僅通過屏幕按鈕操作便可控制設定值及PID閥門調節,同時開放模擬輸入輸出和RS-485數字通訊。 -- 測量液體時,帶有排氣孔可輕松排出空氣。
ACU20FDH-LH系列 熱式高溫質量流量控制器半導體/光纖常用,多用于半導體或光纖等沉積設備相關場景, 采用定制的高速比例控制閥,可快速精確測量高溫氣體/蒸汽的體積流量/質量流量,精度1%.